型號(hào)：PT-15S
供電電源： AC220V
工作電流： 整機(jī)工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率：0-300W/ 0-600W
射頻頻率： 40KHz（偏移量小于0.2KHz）
頻率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動(dòng)匹配
真空度： 30Pa—100Pa
氣體流量： 10—160ml/min(可調(diào))
過(guò)程控制： MCU自動(dòng)與手動(dòng)方式
清洗時(shí)間： 1-99999秒鐘可調(diào)
功率大?。?10%-100%可調(diào)

內(nèi)腔尺寸： 260mm×320mm×200mm

外形尺寸： PT-15S型_580×600×480
重量： 75Kg
真空泵： 飛越 VRD-8（含油霧過(guò)濾器）
真空室溫度： 小于65°C

冷卻方式： 強(qiáng)制冷風(fēng)

【等離子清洗機(jī)應(yīng)用及原理】   

一、金屬表面去油及清潔 

      金屬表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。 在這種情況下的等離子處理會(huì)產(chǎn)生以下效果： 

  1.1灰化表面有機(jī)層 

      －表面會(huì)受到化學(xué)轟擊（氧 下圖）

 －在真空和瞬時(shí)高溫狀態(tài)下，污染物部分蒸發(fā) 

－污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出 

－紫外輻射破壞污染物 

   因?yàn)榈入x子處理每秒只能穿透幾個(gè)納米的厚度，所以污染層不能太厚。指紋也適用。 

1.2氧化物去除 

金屬氧化物會(huì)與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)（下圖）

 

這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物。有時(shí)也采用兩步處理工藝。第一步先用氧氣氧化表面5分鐘，第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以同時(shí)用幾種氣體進(jìn)行處理。 

1.3焊接 

通常，印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離子方法去除，否則會(huì)帶來(lái)腐蝕等問(wèn)題。

1.4鍵合 

好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時(shí)的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過(guò)等離子方法有選擇地去除。同時(shí)氧化層對(duì)鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需要進(jìn)行等離子清潔。

二、等離子刻蝕 

在等離子刻蝕過(guò)程中，通過(guò)處理氣體的作用，被刻蝕物會(huì)變成氣相（例如在使用氟氣對(duì)硅刻蝕時(shí)，下圖）。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來(lái)（例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料）。 

 

等離子方法也用于刻蝕塑料表面，通過(guò)氧氣可以灰化填充混合物，同時(shí)得到分布分析情況?？涛g方法在塑料印刷和粘合時(shí)作為預(yù)處理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤(rùn)濕面積。 

三、刻蝕和灰化 

PTFE刻蝕 

PTFE在未做處理的情況下不能印刷或粘合。眾所周知，使用活躍的堿性金屬可以增強(qiáng)粘合能力，但是這種方法不容易掌握，同時(shí)溶液是有毒的。使用等離子方法不僅僅保護(hù)環(huán)境，還能達(dá)到更好效果。（下圖） 

        

等離子結(jié)構(gòu)可以使表面最大化，同時(shí)在表面形成一個(gè)活性層，這樣塑料就能夠進(jìn)行粘合、印刷操作。 

      

PTFE混合物的刻蝕 

PTFE混合物的刻蝕必須十分仔細(xì)地進(jìn)行，以免填充物被過(guò)度暴露，從而削弱粘合力。

     

處理氣體可以是氧氣、氫氣和氬氣?？梢詰?yīng)用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。 

四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清潔 

塑料、玻璃、陶瓷與聚丙烯、PTFE一樣是沒(méi)有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。同時(shí)，玻璃和陶瓷表面的輕微金屬污染也可以用等離子方法清潔。等離子處理與灼燒處理相比不會(huì)損害樣品。同時(shí)還可以十分均勻地處理整個(gè)表面，不會(huì)產(chǎn)生有毒煙氣，中空和帶縫隙的樣品也可以處理。 

·           不需要用溶劑進(jìn)行預(yù)處理 

·           所有的塑料都能應(yīng)用 

·           具有環(huán)保意義 

·           占用很小工作空間 

·           成本低廉 

等離子表面處理的效果可以簡(jiǎn)單地用水來(lái)驗(yàn)證，處理過(guò)的樣品表面完全被水潤(rùn)濕。長(zhǎng)時(shí)間的等離子處理（大于15分鐘），材料表面不但被活化還會(huì)被刻蝕，刻蝕表面具有潤(rùn)濕能力。常用的處理氣體為：空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF₄等 

五、等離子涂鍍 

聚合 

            

在涂鍍中兩種氣體同時(shí)進(jìn)入反應(yīng)艙，氣體在等離子環(huán)境下匯聚合。這種應(yīng)用比活化和清潔的要求要嚴(yán)格一些。典型的應(yīng)用是保護(hù)層的形成，應(yīng)用于燃料容器、防刮表面、類(lèi)似PTFE材質(zhì)的涂鍍、防水涂鍍等。涂鍍層非常薄，通常為幾個(gè)微米，此時(shí)表面的親和力非常好。 常用的有3種情況 

·           防水涂鍍—環(huán)己物 

·           類(lèi)似PTFE材質(zhì)的涂鍍---含氟處理氣體 

·           親水涂鍍---乙烯醋酸 

小型等離子清洗機(jī)具有成本低廉、操作靈活的特點(diǎn)， 與動(dòng)輒十幾萬(wàn)美元的大型產(chǎn)品相比小型等離子清潔小型機(jī)具有以下優(yōu)點(diǎn): 

1、可以更靈活地操作，簡(jiǎn)便地改變處理氣體的種類(lèi)和處理程序。 

2、不會(huì)對(duì)人員的身體造成任何傷害。 

3、其成本對(duì)于等離子處理方法來(lái)說(shuō)是微不足道的。 

小型等離子設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗和表面改性等場(chǎng)合。通過(guò)其處理，能夠改善材料的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。 

其具體應(yīng)用包括： 

1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化 

玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是沒(méi)有極性的，因此這些材料在進(jìn)行粘合、油漆和涂覆之前要進(jìn)行表面活化處理。 

2、金屬去油及清潔 

金屬表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。 

       焊接操作前：通常印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離子方法去除，否則會(huì)帶來(lái)腐蝕等問(wèn)題。 

        鍵合操作前：好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時(shí)的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過(guò)等離子方法有選擇地去除。同時(shí)氧化層對(duì)鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需要進(jìn)行等離子清潔。

  特 點(diǎn)： 

·     操作簡(jiǎn)便、成本低廉

·     高效真空電極 

·     氣體流量通過(guò)流量計(jì)和針閥實(shí)現(xiàn)精確控制  

·     功率可在200W以?xún)?nèi)調(diào)節(jié)控制（完全能夠能夠滿(mǎn)足清潔需要，200W以上功率用于刻蝕） 

·     自動(dòng)阻抗匹配 

·     自由設(shè)置參數(shù)：處理時(shí)間、功率、氣體、壓力 

·     安全保護(hù)功能：真空觸發(fā)、艙門(mén)鎖

【等離子清洗器應(yīng)用方式】

 

1. 等離子清洗

    · 常規(guī)的清洗方法不能完全將材料表面薄膜去除，而會(huì)留下一層很薄的雜質(zhì)層，而且溶劑清洗就是這類(lèi)典型例子。

    · 等離子清洗器使用就是通過(guò)等離子體對(duì)材料表面的轟擊，輕柔地和完全地對(duì)表面擦洗。

    ·等離子清洗將除去不可見(jiàn)的油膜、微小的銹跡和其它由于用戶(hù)接觸室外暴露等等在表面形成的這類(lèi)污物，而且，等離子清洗不會(huì)在表面留下殘余物。

    · 等離子清洗器能夠處理多種類(lèi)型材料：包括塑料、金屬、陶瓷以及幾何形狀各異的表面。

    ·  等離子清洗器的優(yōu)點(diǎn)在于它不但能清洗掉表面的污物，而且還能增強(qiáng)材料表面的粘附性能。

 2. 聚合物清洗

  ①  聚合物的表面清洗

    ·  等離子消融作用通過(guò)高能的電子和離子對(duì)材料表面的轟擊，機(jī)械地去除污物層。

    ·  等離子表面清洗可去除可能存在于某些加工過(guò)的聚合物的污物層，不需要的聚合物表面涂層和弱的邊界層

  ②  聚合物的表面重組

    ·  等離子消融作用中使用的惰性氣體破壞了聚合物表面的化學(xué)鍵從而導(dǎo)致聚合物表面自由官能團(tuán)的形成。

    ·  聚合物表面的自由官能團(tuán)重新成鍵形成原始的聚合物結(jié)構(gòu)，也能與在相同的聚合物鏈上鄰近的自由官能團(tuán)成鍵，或與在不同的聚合物鏈上附近的自由官能團(tuán)成鏈。

    ·  聚合物表面結(jié)構(gòu)重組能夠改進(jìn)表面的硬度和化學(xué)抗性。

              ③  聚合物的表面改性

        ·  等離子消融作用破壞了聚合物表面的化學(xué)鍵，從而導(dǎo)致聚合物表面 自由官能團(tuán)的形成。

        ·  基于等離子過(guò)程氣體的化學(xué)性質(zhì)，這些表面自由官能團(tuán)與等離子中原子或化學(xué)基的連接形成了新的聚合物功能組，代替舊的表面聚合物功能組。

        ·  聚合物表面改性能夠改變材料表面的化學(xué)性質(zhì)，而材料整體性質(zhì)不會(huì)改變。

   ④ 聚合物的表面鍍膜

  ·  等離子鍍膜是通過(guò)過(guò)程氣體的聚合作用在材料基層表面形成一層薄的等離子涂層。

    ·  如果被使用的生產(chǎn)氣體由復(fù)合分子組成，如：甲烷、四氟化物、碳，那么他們?cè)诘入x子態(tài)將破裂，形成自由的官能單體，這些官能單體將在聚合物表面成鍵和重新化合在聚合物表面鍍膜。

        ·  這種聚合物表面涂層能明顯地改變表面的滲透性和磨擦性。

    ⒊  生物材料

      ①. 消毒、殺菌：

        ·  等離子消毒處理在醫(yī)療設(shè)備的消毒殺菌上得到了許多認(rèn)可。

        ·  等離子處理在醫(yī)療器具的同步清洗和消毒上有很大潛力。

        ·  等離子消毒殺菌特別適用于對(duì)高溫、化學(xué)物質(zhì)、照射、過(guò)敏的醫(yī)學(xué)器具或牙科移植物及設(shè)備的清洗。

      ②. 粘附力的提高

        ·  很多生物材料的介質(zhì)表面能量很低，使它很難有效地進(jìn)行粘附和涂層。

        ·  等離子表面活化導(dǎo)致表面功能組的形成，這些功能組將加強(qiáng)生物材料表面能量和改善界面的粘附力。

      ③. 浸潤(rùn)性

        ·  大多數(shù)未處理的生物材料具有很弱的濕潤(rùn)性 (親水性) 。

        ·  等離子表面處理可以增加或減少多種不同的生物材料的親水性。

        ·  通過(guò)等離子活化可使表面親水，通過(guò)等離子鍍膜，可使表面憎水。

      ④. 低摩擦力和阻礙層

        ·  一些材料對(duì)酯和聚合物表面的磨擦系數(shù)很高，如聚氨基甲酸酯。

        ·  等離子涂層具有很小的摩擦系數(shù)，使生物材料表面變得更光滑。

        ·  等離子涂層也能形成一個(gè)較密的阻礙層，來(lái)減少液體或氣體對(duì)生物材料的滲透性。

?低溫等離子表面處理技術(shù)在許多工藝前進(jìn)行，且能達(dá)到事半功倍的效果，這其中應(yīng)用較多的工藝有：粘接預(yù)處理、印刷預(yù)處理、綁定預(yù)處理、焊接預(yù)處理、封裝預(yù)處理等。根據(jù)本身的特性又較多的應(yīng)用于：清洗肉眼看不的灰塵，殘膠，氧化物，積碳等等，使材料表面粗化，激活，親水性增強(qiáng)等。

電子行業(yè)

Led支架、晶圓、IC等的清潔和焊接性增強(qiáng)處理；電子元器件的綁定性增強(qiáng)，PCB和陶瓷基板的激活處理等。

包裝行業(yè)

PET、PP、OPP、UV、紙盒或果醬瓶粘膠前的表面處理，大大降低膠水的使用成本。

印刷行業(yè)

金屬、玻璃、橡膠、塑料、復(fù)合材料等表面絲印、移印前等離子處理，可大大提高油墨的附著力。
標(biāo)簽、果醬瓶、金屬容器、電纜光纖噴碼前等離子預(yù)處理增加其綁定性。

汽車(chē)行業(yè)

車(chē)燈粘接,鍍鋁,注塑,預(yù)處理;剎車(chē)片、點(diǎn)火線圈、引擎控制蓋、保險(xiǎn)杠等可經(jīng)過(guò)等離子清洗技術(shù)得到清洗和
激活,使其綁定性更加牢靠。
車(chē)身及零部件的噴漆，鍍膜預(yù)處理等

塑料行業(yè)

塑料與橡膠、金屬、玻璃等的粘接預(yù)處理，經(jīng)過(guò)等離子清洗可大大提高表面活性。
玩具，手機(jī)殼，電腦殼，文具殼等噴漆前預(yù)處理，可提高油墨的附著性。

其他行業(yè)

手機(jī)，生物，航空，軍事，醫(yī)學(xué)，器械，電鍍，微電子等等

真空等離子清洗機(jī):

一、清洗對(duì)象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序?？梢蕴岣哒麄€(gè)工藝流水線的處理效率；

二、等離子清洗使得用戶(hù)可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問(wèn)題； 三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性；
四、采用無(wú)線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過(guò)多考慮被清洗物體的形狀。而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五、使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)；
六、等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達(dá)到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過(guò)程不需要使用價(jià)格較為昂貴的有機(jī)溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；
七、使用等離子清洗，避免了對(duì)清洗液的運(yùn)輸、存儲(chǔ)、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場(chǎng)地很容易保持清潔衛(wèi)生；
八、等離子體清洗可以不分處理對(duì)象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無(wú)論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹(shù)脂等高聚物）都可以使用等離子體來(lái)處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗；
九、在完成清洗去污的同時(shí)，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤(rùn)濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的